复旦大学先进晶体管材料与器件实验室
暨 复旦大学魏大程课题组
Advanced Transistor Material and Device Laboratory & Wei's Group @ Fudan University

实验室设备 Facilities

1. 化学合成


真空烘箱

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通风橱

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旋转蒸发器

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马弗炉

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高速离心机

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烘箱

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超临界反应系统

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纯水机

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2. 纳米材料制备


PECVD系统

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CVD系统

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CVD系统

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3. 分析表征制备


Raman光谱及光电测试系统

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原子力显微镜

仪器测试AFM.jpg仪器测试AFM1.jpg


电化学工作站

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分析天平

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光学显微镜

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蓝电测试系统

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电池压片机

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4.  器件制备及测试


半导体测试仪

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手套箱

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高真空有机材料镀膜机

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高真空金属材料镀膜机

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惰性环境探针台

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匀胶机

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真空烘箱

仪器器件真空烘箱.jpg


干燥箱

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点胶机

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洁净台

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点焊机

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等离子体清洗机

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低温真空光电性能测试系统

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单色光源

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太阳光模拟器

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